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高效電池智造裝備

高效電池智造裝備高效組件智造裝備智慧港口

ALD上下料機

產品特點

最高產能可達到16000pcs/h

可根據客戶需求進行配置

特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒，陶瓷側齒，減少硅片劃傷，保證設備的穩定性

ALD上下料機技術參數
技術參數	相關參數
產能	8000/11000/16000 pcs/h
金屬舟規格	200槽，節距2.38mm
硅片尺寸	166mm-210mm
適用花籃	100 casstte
碎片率	≤0.03%
開機率	≥98%
耗氣量	1000L/min
具體參數如有變動，本公司不另行通知！

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