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股票代碼:603396
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擴散/氧化/退火上下料機
產品特點
最高產能可達到16000pcs/h
可根據客戶需求進行配置
特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性
技術參數
技術參數
相關參數
產能
8000/11000/16000 pcs/h
石英舟規格
1000/1200/1600槽 ,節距2.38mm
硅片尺寸
166mm-210mm
適用花籃
100 cassette
碎片率
≤0.03%
開機率
≥98%
耗氣量
1000L/min
具體參數如有變動,本公司不另行通知!
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